Какво е необходимото ниво на вакуум за оборудване за вакуумно отлагане? - Блог

Здравейте! Като доставчик на оборудване за вакуумно отлагане често ме питат за нивото на вакуум, необходимо за този вид оборудване. Така че реших да напиша този блог, за да споделя някои идеи за него.

Първо, нека разберем какво е вакуумно отлагане. Вакуумното отлагане е процес, при който тънки филми се отлагат върху субстрат във вакуумна среда. Тази техника се използва широко в различни индустрии, като оптика, електроника и автомобилостроене, за създаване на покрития със специфични свойства като антиотражение, проводимост или устойчивост на износване.

Нивото на вакуум в оборудването за вакуумно отлагане е от решаващо значение. Измерва се в единици като паскали (Pa), тор или милибар. По-ниското налягане означава по-високо ниво на вакуум. Защо се нуждаем от среда с висок вакуум? Е, в нормална атмосфера има много газови молекули, които се носят наоколо. Когато се опитваме да отложим тънък филм върху субстрат в процес на отлагане, тези газови молекули могат да пречат. Те могат да се сблъскат с отлагащите се частици, което може да доведе до лошо качество на покритието, неравномерна дебелина или съдържание на примеси.

Сега различните видове процеси на вакуумно отлагане изискват различни нива на вакуум. Нека да разгледаме някои често срещани.

Физическо отлагане на пари (PVD)

Физическото отлагане на пари е една от най-широко използваните техники за вакуумно отлагане. Има няколко подвида PVD, като изпаряване и разпрашване.

За PVD на базата на изпаряване обикновено се нуждаем от относително високо ниво на вакуум. Налягането обикновено варира от 10⁻³ до 10⁻⁶ Pa. При това ниско налягане средният свободен път на изпарените атоми е достатъчно дълъг. Средният свободен път е средното разстояние, което една молекула изминава между сблъсъци. В среда с висок вакуум, изпарените атоми могат да пътуват от източника на изпарение до субстрата без много сблъсъци с газови молекули, осигурявайки чисто и добре структурирано отлагане. Ако се интересувате от aМашина за физическо отлагане на пари за оптично, ще трябва да поддържате този вид състояние на висок вакуум за оптимална работа.

Physical Vapor Deposition Machine For Optical best Glass Vacuum Coating Machine factory

При разпръскване на PVD започваме с базово вакуумно налягане също в диапазона от 10⁻³ до 10⁻⁶ Pa. След това въвеждаме работен газ, обикновено аргон. Работното налягане по време на разпръскване обикновено е около 0,1 до 10 Ра. Йоните на аргоновия газ се ускоряват към целевия материал, отстранявайки атоми от целта, които след това се отлагат върху субстрата. Специфичното налягане зависи от вида на разпръсквания материал и желаните свойства на покритието.

E - beam оптично покритие

E - beam оптично покритие се използва за направата на висококачествени оптични покрития. При този процес се използва електронен лъч за нагряване и изпаряване на покриващия материал. Изисква изключително високо ниво на вакуум, често в диапазона от 10⁻⁵ до 10⁻⁷ Pa. Този свръхвисок вакуум е необходим, защото дори и най-малкото присъствие на газови молекули може да повлияе на оптичните свойства на покритието. Малките примеси могат да причинят разсейване на светлината, което е голямо не - не в оптичните приложения. Ако сте на пазара заE - beam Оптичен Coater, уверете се, че вашата система може да постигне и поддържа това високо ниво на вакуум.

Магнетронно разпрашващо вакуумно покритие

Магнетронното разпрашване е друг популярен PVD метод. Подобно на общото разпрашване, то започва с основен вакуум от около 10⁻³ до 10⁻⁶ Pa. Работното налягане с въведения газ аргон обикновено е в диапазона от 0,1 до 10 Pa. Предимството на магнетронното разпрашване е, че може да постигне относително висока скорост на отлагане, но все пак изисква добре контролирана вакуумна среда. Ако искате да научите повече за aМашина за вакуумно покритие с магнетронно разпрашване, имайте предвид, че управлението на вакуума е ключово.

Плазмено покритие

Плазменото покритие включва генериране на плазма във вакуумната камера за подпомагане на процеса на отлагане. Базовият вакуум за машини за плазмено покритие обикновено трябва да достигне 10⁻² до 10⁻⁴ Pa. Подходящото ниво на вакуум помага за създаването на стабилна и ефективна плазма. Ако налягането е твърде високо, плазмата може да стане нестабилна или трудна за запалване. От друга страна, ако е твърде ниско, може да няма достатъчно газови молекули за образуване на плазма. Разгледайте нашитеМашина за плазмено покритиеако обмисляте тази технология.

Вакуумно покритие на стъкло

За вакуумно покритие на стъкло различните приложения може да изискват различни нива на вакуум. Например, когато се нанасят антирефлексни покрития върху стъкло, често е необходим висок вакуум в диапазона от 10⁻³ до 10⁻⁶ Pa, за да се осигури гладко и равномерно покритие. Ако е за декоративни покрития върху стъкло, изискванията може да са малко по-малко строги, но все пак обикновено е необходимо добро ниво на вакуум в диапазона от 10⁻¹ до 10⁻³ Pa. Разгледайте нашитеМашина за вакуумно покритие на стъклоза повече подробности относно това приложение.

Постигане и поддържане на правилното ниво на вакуум

Сега постигането и поддържането на желаното ниво на вакуум в система за отлагане не е лесна задача. Обикновено включва комбинация от вакуумни помпи. Има различни видове помпи, като ротационни лопаткови помпи, турбомолекулярни помпи и дифузионни помпи. Ротационните лопаткови помпи често се използват като груби помпи за бързо намаляване на налягането от атмосферно налягане до средно ниво на вакуум. След това се използват турбомолекулярни помпи и дифузионни помпи за постигане на високи - и ултра-високи - нива на вакуум, необходими за по-напреднали процеси на отлагане.

Редовната поддръжка на вакуумната система също е от решаващо значение. Течовете в системата могат да причинят спад на нивото на вакуума, което да повлияе на качеството на покритието. Затова е важно редовно да проверявате за течове, като използвате методи като откриване на течове с хелий.

Заключение

В заключение, нивото на вакуум, необходимо за оборудването за вакуумно отлагане, зависи от конкретния процес на отлагане. Независимо дали става въпрос за PVD, покритие с електронен лъч, магнетронно разпрашване, плазмено покритие или стъклено покритие, всяко от тях има собствено предимство по отношение на вакуумното налягане. Като доставчик на оборудване за вакуумно отлагане, ние сме добре запознати с тези изисквания и предлагаме машини, които могат да постигнат и поддържат правилните нива на вакуум за различни приложения.

Ако сте на пазара за качествено оборудване за вакуумно отлагане и искате да обсъдите специфичните си нужди, не се колебайте да се свържете с нас. Ние сме тук, за да ви помогнем да намерите идеалното решение за вашите процеси на отлагане.