Хоризонтална магнетронна разпръскваща линия

Производствената линия на хоризонталната магнитна разпръскваща покритие е важна конфигурация на оборудването за отлагане на физически пари.

Основната му характеристика е, че субстратът (детайлът) се поставя хоризонтално по време на процеса на покритие.

Това оформление носи уникални характеристики и предимства на приложението, което го прави незаменим в специфични области.

Отлагане на многослойни композитни филми върху повърхността на стъкло, керамика и плоски продукти;

Хоризонтално поставяне на субстрат

Това е основната характеристика. Субстратът (като стъклена плоча, силициева вафла, метална плоча, пластмасов лист и др.) Се поставя хоризонтално на носител (като табла, рамка) или се транспортира хоризонтално през площта на покритието чрез механизъм за конвейер.

Непрекъснато производство

Хоризонталните линии са много подходящи за проектиране на непрекъснато или в линия производство.

Субстратите могат да бъдат последователно заредени, изпратени в камерата за разпръскване за покритие и след това се изпращат и разтоварват, постигайки ефективни мащабни операции за сглобяване.

Лесно за интегриране на автоматизацията

Хоризонталното разположение и линейното оформление са много удобни за интегриране на автоматизирани роботи за зареждане/разтоварване, системи за предаване (като ролки, верижни транспортьори, роботи), онлайн оборудване за откриване и др. За постигане на високо автоматизирано производство.

За плоски субстрати

Особено добър при обработката на плоски или леко извити субстрати (като архитектурно стъкло, фотоволтаично стъкло, субстрати с плосък панел, гъвкави ролки).

Малко влияние на гравитацията

Хоризонталното поставяне прави посоката на гравитацията перпендикулярна на повърхността на субстрата.

За частици, които могат да бъдат генерирани по време на процеса на разпръскване, влиянието на утаяването на гравитацията върху равномерността на филмовия слой е сравнително малко (в сравнение с вертикалния тип).

Удобна работа и поддръжка

Основното оборудване и компоненти обикновено са разположени на височини, които са лесно достъпни за операторите, като правят ежедневната работа, мониторинг и поддръжка удобно.

Изключително висока ефективност и капацитет на производството
Непрекъснато производство:

Това е най -голямото предимство на хоризонталната линия. Субстратът може да бъде непрекъснато въвеждащ и изход, а процесът на разпръскване се завършва по време на непрекъснатото или стъпка по стъпка движение на субстрата, което е особено подходящо за мащабни, единични или ограничени нужди за производство на сортове.

Отлично равномерност на покритието с голяма площ
За плоски субстрати (особено правоъгълни стъклени плочи), равномерността на дебелината на филма може да бъде постигната на голяма площ чрез внимателно проектиране на целевото оформление, разпределение на магнитното поле, скорост на пренос на субстрата и разстояние на целта-субстрат.

Отлична стабилност и повторяемост на процеса
Силно автоматизираните и непрекъснати процеси намаляват човешката намеса и оперативните грешки

Стабилната скорост на транспортиране и прецизният контрол на параметрите на процеса (налягане на газа, мощността, потока на газа) гарантират стабилността на процеса между партидите и за дълги периоди от време.

Отлична съвместимост и гъвкавост на субстрата
Разнообразни материали: Подходящи за различни плоски субстрати като стъкло, метални листове, силиконови вафли, керамика и специфични пластмаси.

Лесно за постигане на многослойно отлагане на филми
Чрез подреждане на разпръскващи цели на различни материали последователно на транспортиращия път и преминаването на субстрата през тези целеви позиции последователно, тънки филми с множество материали могат да бъдат непрекъснато депозирани в един процес на транспортиране, за да се образува сложна многослойна филмова система (като например сребърния базиран многослоен филм от ниско-E стъкло и подредената структура на фотовоични тънки-филмиеви клетки).