1. Основна структура на машината за вакуумно покритие
Вакуумното покритие е устройство, което отлага тънък филм върху повърхността на субстрата чрез физически или химически методи под вакуумна среда. Основната му структура включва следните части:
1. Вакуумна система: Съставена е от механична помпа, молекулярна помпа, дифузионна помпа и др., Която се използва за изпомпване на покривната камера до висока вакуумна среда от 10⁻³ ~ 10⁻⁶ PA (вижте „Ръководство за технология за вакуумно покритие“). Например, механичната помпа може да намали налягането до 1 ~ 10 pa, а молекулната помпа може допълнително да я намали до под 10⁻⁴ PA.
2. Покриваща камера: Основното тяло е кухина от неръждаема стомана, която е устойчива на корозия и има силно уплътняване. Размерът варира от 0,5 m³ за малки лаборатории до 5 m³ за индустриален клас (като ARL-300 модел на Ulvac).
3. Източник на изпаряване: Изберете отопление на съпротивление, електронен лъч или източник на разпръскване на магнетрон съгласно изискванията на процеса. Например, силата на източника на изпаряване на електронния лъч може да достигне 10 kW, а скоростта на изпаряване е около 1 ~ 5 nm/s.
2. Разлики в състава на различни видове покривни машини
1. Оборудване на физическо отлагане на пари (PVD):
- Магнетроновите машини за разпръскване на покритие трябва да бъдат оборудвани с целеви материали (като титанови цели, алуминиеви цели) и системи за магнитни полета, а работното налягане на газа обикновено е 0,1 ~ 10 pa.
- Машините за дъгови йони добавят източници на дъга, токът може да достигне 100 ~ 200 A, а адхезията на филма е по -силна.
2. Оборудване на химическо отлагане на пари (CVD):
- Необходимо е да се въведат реактивни газове (като SIH₄, CH₄), а системата за контрол на потока на газ е оборудвана с точност ± 1 SCCM (стандартни милилитри/минута).
3. Спомагателни системи и ключови технически параметри
1. Система за управление: PLC или промишлен компютър се използва за наблюдение на вакуум, температура (± 1 градус точност) и дебелина на филма (измерена чрез кварцов метод на кристално трептене, точност ± 0,1 nm) в реално време.
2. Система за охлаждане: Дизайнерният дебит на тръбопровода за охлаждане на водата обикновено е 20 ~ 50 L/min, за да се гарантира дългосрочната стабилност на работата на оборудването.
IV. Сценарии за кандидатстване и препоръки за подбор
1. Оптично покритие: изисква висока равномерност (± 1% отклонение от дебелината) и трябва да избере източник на много притискане на електронния лъч.
2. Покриване на инструменти: Фокусира се върху твърдостта (като калай на покритие може да достигне 2000 HV) и се предпочита оборудване за плаване на дъгови йони.
Чрез горния анализ потребителите могат да избират съвпадащия тип на машината за покритие и конфигурацията според действителните нужди (като производителност на филма, ефективност на производството).
