1. Вакуумна камера
Вакуумната камера е основната част на машината за вакуумно покритие. Основната му функция е да създаде вакуумна среда и да поддържа процеса на покритие във вакуумно състояние. Вакуумната камера обикновено е изработена от материали от неръждаема стомана или алуминиева сплав, с високо вакуумно уплътняване и устойчивост на корозия.
2. Помпена система
Помпената система е един от ключовите компоненти на машината за вакуумно покритие. Той е отговорен главно за извличането на газа във вакуумната камера, за да се постигне вакуумната степен да достигне необходимата степен. Помпената система обикновено се състои от молекулни помпи, механични помпи и дифузионни помпи. Различните комбинации от помпа могат да постигнат различни вакуумни степени и скорост на изпомпване.
3. Устройство за затягане на субстрата
Устройството за затягане на субстрата е друг важен компонент на машината за вакуумно покритие. Използва се за фиксиране на материала на субстрата, за да бъде покрит и да се контролира нейното положение и траектория на движение. Устройството за затягане на субстрата обикновено се състои от въртяща се маса, механизъм за повдигане и скоба на субстрата. Различните скоби могат да се адаптират към субстратите с различни форми и размери.
4. Отоплителна система
Отоплителната система е необходим компонент във вакуумното покритие. Той може да загрее субстрата и материала за покритие, за да насърчи образуването на покритието и да подобри качеството му. Отоплителната система обикновено се реализира чрез проводник за съпротивление, електромагнитно отопление, индукционно отопление и други методи.
5. Източник на покритие
Източникът на покритие е последният компонент във вакуумното покритие. Използва се за осигуряване на материала, който трябва да бъде покрит, обикновено включително метали, керамика, силиций и други материали. Източникът на покритие може да депозира материала върху субстрата чрез електронен лъч, изпаряване, разпръскване и други методи за образуване на необходимото покритие.
Резюме: Вакуумното покритие е устройство, използвано за производство на висококачествени покрития, в което вакуумната камера, помпената система, затягащото устройство на субстрата, отоплителната система и източника на покритие са неговите основни компоненти. Тези компоненти работят заедно, за да завършат процеса на подготовка на покритието.
