Понастоящем има много методи за наблюдение на тънки слоеве в машини за вакуумно покритие, включително основно: визуално наблюдение, наблюдение на фиксирана (екстремна) стойност, наблюдение на кристални колебания и наблюдение на времето. Тази статия ще представи основно три метода: визуален мониторинг, мониторинг с фиксирана (екстремна) стойност и мониторинг на кристални трептения. Визуалното наблюдение, известно още като директно наблюдение, използва очите за наблюдение на филма. По време на процеса на растеж на филма, явленията на интерференция причиняват промени в цвета и ние контролираме дебелината на филма въз основа на тези промени в цвета. Този метод има известна степен на грешка и не е много точен, изискващ опит.
Мониторинг с фиксирана-стойност (екстремна-стойност): Тук се използва главно отразяващ (трансмисивен) оптичен мониторинг. Метод за наблюдение на екстремни-стойности: С увеличаване на дебелината на филма, неговата отразяваща способност и пропускливост се променят съответно. Когато отразяващата способност или пропускателната способност достигнат екстремна точка, оптичната дебелина ND на покритието може да се определи като цяло число, кратно на една-четвърт от дължината на вълната за наблюдение (λ). Методът на екстремна-стойност обаче има сравнително голяма грешка, тъй като коефициентът на отражение или пропускливост се променя много бавно близо до екстремната стойност; това означава, че R/T се променя само след значително увеличение на дебелината на филма ND. Най-чувствителната позиция е на една-осма от дължината на вълната. Метод за наблюдение с фиксирана{11}}стойност: Този метод използва факта, че точката на спиране на покритието не е на една{12}}четвърт от дължината на вълната за наблюдение. След това компютърът изчислява отразяващата способност (или пропускливостта) на общата дебелина на филма при дължина на вълната 1, която е точката на спиране на покритието. Мониторинг на кристални трептения: Принципът на работа на кристалните трептения се основава на принципа, че честотата на вибрациите на кварцов кристал е обратно пропорционална на неговата маса. Въпреки това, един недостатък на кварцовия мониторинг е, че когато дебелината на филма се увеличи до определено ниво, честотата на вибрациите не е напълно линейно свързана с дебелината поради свойствата на самия кварц. В този случай трябва да се използва нов кварцов осцилатор.
Няколко метода за наблюдение имат своите предимства и недостатъци, но за много-слойни покрития оптичното наблюдение обикновено е основният метод, допълнен от осцилация на кварцов кристал. В допълнение, за някои процеси, изискващи инжектиране на газ по време на нанасяне на покритие, са необходими разходомери или манометри, които изискват прецизни клапани и фотоелектрически сензорни системи за контрол. Машините за вакуумно покритие също изискват система за контрол на въртенето, при която главният вал на чадъра е поставен вътре в лагер, а мотор задвижва лагера, за да върти чадъра. След това скоростта на въртене се контролира от PLC. Въртенето на тигела се задвижва от двигател и използва фотоелектрическо индукционно броене, докато екраниращата плоча се върти с помощта на пневматичен превключвател. За да се ускори скоростта на изпомпване и да се постигне определено ниво на вакуум, вакуумната камера трябва да се охлади, замразявайки въздуха вътре до -130 градуса по Целзий и замразявайки и отстранявайки всякакви водни пари. Секцията за електрическо управление приема главно PLC автоматично управление. Предварително{10}}проектираната програма първо се въвежда в PLC и главната верига на процесора се свързва към всяка система без натоварване на операционния панел. Когато се натисне превключвателят на операционния панел, информацията се предава на централния процесор и след това централната система за управление анализира и издава инструкции към разклонителните вериги за изпълнение и завършване на действието.
Машините за вакуумно покритие са устройства, интегриращи множество дисциплини. Те включват най-напредналите електромеханични технологии, технологии за управление, електрическа автоматизация, IT технологии, хладилни технологии, интегрирани системи с микросхеми, системи за управление на високо-напрежение, механични технологии, технологии за обработка, оптоелектронни технологии, оптични технологии, пневматични технологии за управление, оптоелектронни сензорни технологии, комуникационни технологии, вакуумни технологии, тънко-слойна оптика и технологии за покрития и др. Машините за вакуумно покритие могат да се считат за представител на нововъзникващите индустрии. Днес машините за вакуумно покритие са широко използвани, особено при производството на тънки филми. Различните произведени тънки филми се използват в различни оптоелектронни системи и оптични инструменти, като цифрови фотоапарати, цифрови видеокамери, телескопи, проектори, енергиен контрол, оптична комуникация, дисплейна технология, интерферометри, изкуствени спътници и ракети, полупроводникови лазери, микроелектромеханични системи, информационната индустрия, лазерно производство, различни филтри, осветителната индустрия, сензори, архитектурни стъкло, автомобилната индустрия, декоративни предмети, монети, лещи за очила и др. Машините за нанасяне на покрития са тясно интегрирани в човешкия живот.
