1. Стандартни условия на околната среда: температура 20 градуса, относителна влажност 65%, атмосферно налягане 101325 Pa.
2. Стандартно състояние на газа: температура 0 градуса, налягане 101325 Pa.
3. Налягане (интензитет): Скоростта на промяна на импулса на газовите молекули, преминаващи през въображаема равнина по положителната нормална посока на тази равнина, разделена на площта на тази равнина; или нормалният компонент на силата, упражнявана от газовите молекули върху повърхността на неговия контейнер, разделена на повърхностната площ.
4. Паскал (символ: Pa): Единицата за налягане в SI, 1 Pa=1 N/m².
5. Парциално налягане: Налягането на определен компонент в газова смес.
6. Общо налягане: Сумата от наляганията на всички компоненти в газовата смес.
7. Вакуум: Газообразно състояние под една атмосфера налягане в определено пространство.
8. Степен на вакуум: Разреждането на газ при условия на вакуум, обикновено изразено като стойност на налягането.
9. Газ: вещество, което не е свързано от междумолекулни сили и може свободно да заема всяко пространство. (Забележка: във вакуумната технология терминът „газ“ не се прилага стриктно за не-кондензиращи газове и пари.)
10. Не-кондензиращ газ: газ над критичната си температура, т.е. газ, който не може да бъде втечнен просто чрез увеличаване на налягането.
11. Пара: газ под критичната си температура, което означава газ, който може да бъде втечнен просто чрез увеличаване на налягането.
12. Налягане на наситените пари: Налягането на парите на дадено вещество при дадена температура, когато неговите пари и кондензирана фаза са във фазово равновесие.
13. Степен на насищане: Съотношението на налягането на парите към налягането на наситените пари.
14. Наситена пара: Пара при дадена температура, чието налягане е равно на налягането на наситените пари.
15. Ненаситена пара: Пара при дадена температура, чието налягане е по-ниско от налягането на наситените пари.
16. Молекулярна числена плътност (единица: m⁻³): Броят на молекулите в обема, заобикалящ точка в газ в даден момент, разделен на произведението.
17. Среден свободен път: Разстоянието, което една молекула изминава в два последователни сблъсъка с други газови молекули, се нарича свободен път. Средната стойност на значителен брой различни свободни пътища се нарича среден свободен път.
18. Скорост на сблъсък: Средният брой сблъсъци, които една молекула (или друга определена частица) изпитва спрямо други газови молекули (или други определени частици) в рамките на даден интервал от време, разделен на това време. Този среден брой сблъсъци трябва да се получи с достатъчно голям брой молекули и достатъчно дълъг интервал от време.
19. Обемна скорост на сблъсък: Средният брой сблъсъци между газови молекули в рамките на пространствен диапазон около определена точка в рамките на даден интервал от време, разделен на това време и обема на този пространствен диапазон. Интервалът от време и обемът не трябва да са твърде малки.
20. Количество газ: произведението на обема, зает от идеален газ в равновесие, и неговото налягане. Тази стойност трябва да указва температурата на газа или да бъде преобразувана в стойност при 20 градуса. (Забележка: Количеството газ се отнася до 2/3 от присъщата енергия (или потенциалната енергия) на газа в обема, зает от това количество газ.)
21. Газова дифузия: движението на газ в друга среда поради концентрационен градиент. Средата може да бъде друг газ (в този случай дифузията се нарича интердифузия) или кондензируемо вещество.
22. Дифузионна система: Съотношението на абсолютната стойност на масовия дебит на единица площ към градиента на нормалната концентрация на единица площ.
23. Вискозен поток: състояние на поток, при което средният свободен път на газовите молекули е много по-малък от минималния размер на напречното-сечение на канала. Следователно потокът зависи от вискозитета на газа; вискозният поток може да бъде ламинарен или ламинарен.
24. Коефициент на вискозитет: Съотношението на тангенциалната сила на единица площ в посоката на градиента на скоростта на газа към градиента на скоростта.
25. Поасонов поток: Ламинарен-вискозитетен поток през дълъг канал с кръгло напречно-сечение.
26. Междинен поток: Газов поток през тръбопровод в състояние между ламинарен и молекулен поток.
27. Молекулен поток: Поток, при който средният свободен път на газовите молекули е много по-голям от максималната площ на напречното-сечение на тръбопровода.
28. Число на Кнут: Съотношението на средния свободен път на газовите молекули към диаметъра на тръбопровода.
29. Молекулен преливник: Поток, когато газът тече през тънко-стенен отвор, където средният свободен път на неговите молекули е много по-голям от размера на отвора.
30. Бягство: Газов поток през порест материал, причинен от разлика в налягането.
31. Thermal Escape: При молекулярния поток газовият поток възниква между два свързани контейнера поради температурни разлики. Когато транспортирането на газ достигне равновесие, между двата контейнера се образува градиент на налягането.
32. Скорост на молекулния поток: Разликата между броя на молекулите, преминаващи през повърхността в дадена посока, и броя, преминаващи през повърхността в обратната посока в рамките на даден интервал от време, разделена на времето.
33. Плътност на скоростта на молекулярния поток: Скоростта на молекулярния поток, разделена на площта на повърхността.
34. Масов дебит: Масата на газа, преминаваща през напречно-сечение в рамките на даден интервал от време, разделена на времето.
35. Дебит: Количеството газ, преминаващо през напречно-сечение в рамките на даден интервал от време, разделено на времето.
36. Обемен дебит: Обемът газ, преминаващ през напречно-сечение при дадени условия на температура, налягане и интервал от време, разделен на това време.
37. Броят молове газ, преминаващи през дадено напречно-сечение в даден интервал от време, разделен на това време.
38. Разпределение на скоростта на Максуел: Разпределение на скоростта, определено от функцията на разпределение на скоростта на Максуел-Болцман. Това е разпределението на скоростта на газовите молекули в равновесие при дадена температура и когато разстоянието до стената на контейнера е по-голямо от средния свободен път на молекулите.
39. Вероятност за транспортиране: Вероятността молекулите, които произволно влизат във входа на тръбопровода, да излязат през изхода.
40. Молекулярна проводимост: Молекулната проводимост на газ, протичащ през две определени напречни-сечения или отвори на тръба, изразена като съотношението на неговия молекулен поток към средната разлика в плътността на молекулния брой между двете напречни-сечения или отвори на тръбата.
41. Проводимост: При изотермични условия съотношението на скоростта на потока на газ през тръбопровод или отвор към средната разлика в налягането в две определени напречни сечения на тръбопровода или отвора.
42. Вътрешна проводимост: При условия, при които разпределението на скоростта на Максуел доминира в контейнер, проводимостта на тръбопровод (или отвор), свързващ два такива контейнера. При условия на молекулен поток тя е равна на произведението на входната проводимост и вероятността за транспортиране.
43. Съпротивление на потока: реципрочната стойност на проводимостта.
44. Адсорбция: Улавянето на газ или пара (адсорбат) от твърдо вещество или течност (адсорбент).
45. Повърхностна адсорбция: адсорбцията на газ или пара (адсорбат) върху повърхността на твърдо вещество или течност (адсорбент).
46. Физикоадсорбция: адсорбция поради физични процеси.
47. Химиадсорбция: Адсорбция, дължаща се на химични процеси.
48. Абсорбция: Дифузията на газ или пара (адсорбат) във вътрешността на твърдо или течно вещество (адсорбент).
49. Коефициент на прилягане: Съотношението на средната енергия, действително обменена между частица, падаща върху повърхността, и повърхността към средната енергия, която частицата трябва да обмени, за да достигне пълно топлинно равновесие на повърхността.
50. Степен на инциденти: Броят молекули, падащи върху повърхност в рамките на даден интервал от време, разделен на това време и площта на повърхността.50. Процент на инциденти: Броят молекули, падащи върху повърхност в рамките на даден интервал от време, разделен на това време и площта на повърхността.
51. Скорост на кондензация: Броят на молекулите (или масата на материята), кондензирани върху дадена повърхностна площ в рамките на даден интервал от време, разделен на това време и тази повърхностна площ.
52. Степен на адхезия: Броят на молекулите, адсорбирани върху повърхност в рамките на даден интервал от време, разделен на това време и тази повърхностна площ.
53. Вероятност за адхезия: Съотношението на скоростта на сцепление към степента на инцидент.
54. Време на престой: Средното време, през което една молекула е задържана в адсорбирано състояние върху повърхност.
55. Миграция: Движението на молекулите по повърхността.
56. Десорбция: Освобождаването на газ или пари, адсорбирани от материал. Освобождаването може да бъде естествено или ускорено чрез физически методи.
57. Дегазация: Изкуствена десорбция на газ от материал.
58. Дегазиране: естествената десорбция на газ от материал.
59. Скорост на десорбция, обезгазяване или отстраняване на газ: скоростта на потока (или скоростта на молекулния поток) на газа, десорбиран (или дегазиран) от материала в рамките на даден интервал от време, разделен на това време и тази повърхностна площ.
60. Скорост на изпарение: Броят на молекулите (или масата на материята), изпарени от повърхността в рамките на даден интервал от време, разделен на това време и тази повърхностна площ.
61. Проникване: Феноменът на газ, преминаващ през твърд бариерен слой. Това явление включва дифузия на газ през твърдо тяло и може да включва и други повърхностни явления.
62. Пропускливост: При условия на постоянен поток скоростта на потока на газ през бариерен слой (като стена на съд), разделена на функция на наляганията от двете страни на бариерен слой. Формата на тази функция зависи от физическите процеси, включени в действителното проникване.
63. Коефициент на пропускливост: произведението на пропускливостта и дебелината на бариерен слой, разделено на площта на пропускливата повърхност.
Горното е обобщение на общитеоборудване за вакуумно покритиеиндустриални условия. Надяваме се, че тази информация е полезна, тъй като усвояването на тези термини е от съществено значение за навлизане във вакуумната индустрия.
