Първо, трябва да изясним, че замърсяването на вакуумната камера по същество включва различни примеси (водна пара, въглеводороди, прах, мазнини и т.н.), полепнали по стените на камерата или повърхностите на вътрешните компоненти, образувайки източници на газ и пара, които нарушават баланса на вакуумната среда. Тези замърсители идват от широк спектър от източници, включително остатъци от флуид за рязане и смазка от обработката на детайла, пот на ръцете по време на работа, прах във въздуха и дори следи от примеси, въведени от вакуумната помпа или летливи вещества от целевия материал или субстрат. Независимо от вида на замърсяването, стратегията за възстановяване на ядрото е "прецизно отстраняване на примесите, без да се повреди материала на камерата и възстановяване на вакуумната среда." Различните видове замърсяване изискват различни методи за възстановяване.
Метод 1: Нагряване за „изпаряване“ на примесите - Метод за почистване с вакуумно нагряване Това е най-основният и често използван метод за възстановяване. Принципът е много прост: подобно на сушенето на дрехи с петна от вода, нагряването кара летливите примеси (като водна пара и меки въглеводороди) на повърхността на кухината да се изпарят и след това те се отстраняват от вакуумна помпа, като по този начин се постига почистване.
Метод 2: Ултравиолетово „разграждане“ на замърсители - Метод за почистване с ултравиолетово облъчване. Ако замърсяването на кухината се състои главно от въглеводороди (като остатъци от смазочни масла и органични замърсители), методът за почистване с ултравиолетово облъчване ще бъде по-ефективен. Освен това той е без{4}}контактен и не-вреден по време на целия процес, което го прави особено подходящ за сценарии с изключително високи изисквания към материалите, като прецизни оптични кухини и полупроводникови вакуумни кухини.
Метод 3: Обеззаразяване с йонна „бомбардировка“ - Метод за почистване с разряд. За кухини с висок и ултра{3}}висок вакуум (като оборудване за вакуумно покритие и кухини за имплантиране на полупроводникови йони) замърсяването често е по-упорито, особено въглеродът и въглеводородите по повърхността на кухините от неръждаема стомана, които са трудни за отстраняване с обикновени методи. В този случай е необходим метод за почистване с разряд, който е и основният метод за дълбоко възстановяване на вакуумни кухини.
Метод 4: „Промиване“ с газ от примеси - Метод за промиване с газ Ако кухината е само леко замърсена или ако се изисква бързо възстановяване и съкращаване на времето за евакуация, промиването с газ е най-добрият избор. Разделя се на продухване с азот и промиване с реактивен газ, които са подходящи за различни сценарии.
Трябва да се наблегне на защитата след-замърсяване: След възстановяване кухината трябва да се пази далеч от масло и прах. Трябва да се вземат предпазни мерки по време на работа и вакуумната помпа трябва да се поддържа редовно, за да се намали възможността от повторно замърсяване. Това е особено важно в области с изключително високи изисквания за чистота, като полупроводници и космонавтика, където чистотата на кухините директно определя живота и производителността на продукта. Чистотата на вакуумната кухина е „спасителният пояс“ на вакуумните процеси от висок{4}}клас. Всъщност, чрез овладяване на тези четири основни метода за възстановяване и гъвкаво избиране на подходящия метод въз основа на степента на замърсяване и материала на кухината, проблемите със замърсяването на кухината могат лесно да бъдат решени, като се гарантира стабилна работа на вакуумната система. С развитието на индустрията за прецизно производство, технологията за вакуумно почистване също непрекъснато се надгражда, от традиционно топлинно почистване до екологично чисто и ефективно разрядно и плазмено почистване. Все повече и повече методи предпазват чистотата на вакуумните кухини, защитавайки високо-производството.
Добре дошли, посетете нашия Tiktokhttps://www.tiktok.com/@vacuum.coatingmachine за повече видеоклипове с машини, благодаря.
