Изисквания за работна среда на машината за вакуумно покритие

Вакуумното покритие машина се отнася главно до покритие, което трябва да се извършва под висок вакуум, включително изпаряване на вакуумни йони, разпръскване на магнетрон, епитаксия на молекулярния лъч, отлагане на лазерно разпръскване на PLD и много други видове. Основната му идея е разделена на изпаряване и разпръскване.
Изисквания за работна среда на машината за вакуумно покритие:
Оборудването за вакуумно покритие трябва да работи при вакуумни условия, така че оборудването трябва да отговаря на изискванията на вакуума за околната среда. Изискванията на вакуума за околната среда обикновено включват изискванията на вакуумното оборудване за лабораторна (или работилница) температура, въздух и други прахови частици в заобикалящата среда и изискванията за части или повърхности във вакуум или вакуум.
Тези два аспекта са тясно свързани. Околната среда пряко влияе върху нормалното използване на вакуумно оборудване; Независимо дали вакуумната камера или частите, инсталирани във вакуумното оборудване, са чисти директно, влияе върху работата на оборудването. Ако във въздуха има много водни пари и прах, е трудно да се постигне очакваната вакуумна степен чрез изпомпване с механична помпа с масло, без да се почиства вакуумната камера. Добре известно е, че механичните помпи с масло не трябва да изпомпват газове, съдържащи прах от частици, които са корозивни на металите и реактивни на вакуумното масло. Водната пара е кондензиращ газ. Когато се изпомпва голямо количество кондензиращ газ, замърсяването на помпеното масло ще бъде по -сериозно. Следователно, крайният вакуум на помпата ще бъде намален и помпените характеристики на помпата ще бъдат нарушени.
Прахът в индустриална среда се характеризира с прахообразни тела, без заглавие очи и прах. Прахът е вещество в състояние на агрегиране или дисперсия на прах или твърди частици. Така нареченият прах се отнася до колекция от малки плътни частици, а частиците се отнасят до малки вещества, които могат да бъдат преброени една по една. Димът е материална система, при която в газ съществуват малки частици от твърдо вещество или течност. Веществата в гранулирано състояние, независимо дали са твърди или течни, колективно се наричат ​​прахови частици. Стандартът за чистота на въздуха се определя от размера на размера на частиците на праха, като по този начин се персонализира чистата степен на стаята. Той е приложим не само за индустриалните сектори с чисти изисквания, но и за вакуумни изисквания за чиста среда.