Производствената линия за непрекъснато магнетронно разпрашване на покритие е високоспециализирана производствена система, която се използва главно за отлагане на един или повече слоя от изключително тънки функционални филми върху повърхността на субстрати (като стъкло, пластмаса, метал, керамика, полупроводникови пластини и др.).
Неговото ядро е да изпари или йонизира покриващия материал чрез различни физични методи в силно вакуумна среда и след това да го кондензира във филм върху повърхността на субстрата.
Приложения:
Вакуумно покритие на мед, сребро и други проводими материали върху повърхността на керамика за електрически компоненти и керамика за печатни платки.
Също така е подходящо за вакуумно отлагане на различни слоеве от метален филм върху повърхността на други детайли, подобни на пластини (стъкло, акрилна плоскост и др.);
Основни характеристики:
Магнитното поле ограничава плазмата
Това е основната характеристика на магнетронното разпрашване. Чрез прилагане на силно магнитно поле със специфична форма (обикновено във формата на пръстен или състезателна писта) близо до целевата повърхност, електроните се ограничават близо до целевата повърхност, за да направят спирално движение, което значително увеличава вероятността от сблъсък и йонизация на електрони с атоми на работен газ (обикновено аргон).
Висока скорост на йонизация и висока скорост на отлагане
Ограничаването на магнитното поле значително увеличава плътността на плазмата и скоростта на йонизация, което прави процеса на разпръскване по-ефективен.
Това означава, че при относително ниско налягане на газа и ниско напрежение/мощност на разпрашаване могат да се постигнат много по-високи скорости на разпрашаване и отлагане в сравнение с конвенционалното разпрашаване с постоянен ток.
Нискотемпературен процес
Тъй като по-голямата част от енергията се използва за йонизиране на газа и разпръскване на целевите атоми, сравнително малко топлина се прехвърля към субстрата.
Добро качество на филма
Добра плътност, силна адхезия, висока чистота и добра еднородност.
Широка гама от адаптивност на материала
Добра контролируемост на процеса
Производствената линия за магнетронно разпрашващо покритие се превърна в една от основните технологии за подготовка на функционални тънки филми (като оптични филми, проводящи филми, устойчиви на износване -твърди филми, декоративни филми, анти-корозионни филми, магнитни филми, полупроводникови филми и др.) в съвременната индустрия поради основните си характеристики и предимства като висока скорост на отлагане, процес при ниска температура, отлично качество на филма (компактна, силна адхезия), широка адаптивност на материала, добра равномерност и контролируемост. Има изключително широки приложения в микроелектрониката, дисплеи с плосък панел, слънчеви клетки, покрития за инструменти, автомобилни части, опаковки, декорация, оптични устройства и други области.
Популярни тагове: puyuan непрекъснато магнетронно разпрашващо покритие производствена линия, Китай puyuan непрекъснато магнетронно разпрашващо покритие производствена линия производители, доставчици, фабрика
