Йонна плоча е нов тип вакуумна машина

Вакуумното покритие е технология, която произвежда тънки филмови материали по физически методи. Той отделя атомите на материала във вакуумната камера от източника на отопление и ги удря на повърхността на плочата. Тази технология за първи път се използва за производство на оптични лещи, като лещи за морски телескоп. По -късно тя е разширена до други функционални филми, запис на алуминиево покритие, декоративно покритие и модификация на повърхността на материала. Например, черупките на часовника са поставени с имитационно злато, механично покритие на инструмента и обработката на червената твърдост се променя. Понастоящем формите на вакуумно покритие могат да бъдат разделени грубо на покритие за изпаряване, разпръскване на покритие и йонно покритие.
Сред тях нагряването и изпаряването на определено вещество, за да се депозира върху твърдата повърхност, се нарича покритие на изпаряване. Това е най -ранната технология за покритие и една от често използваните технологии за покритие в съвременното време; Спърващото покритие се отнася до бомбардирането на твърдата повърхност с високоенергийни частици, което може да направи частиците върху енергията на твърдата повърхност и да избяга от повърхността и да се отложи върху субстрата; и най-новото технологично покритие-йонно покритие се отнася до молекулите на изпареното вещество, йонизирано чрез електронен сблъсък и се отлага върху твърдата повърхност като йони. Технологията за йонни покрития се отнася до комбинацията от вакуумно изпаряване и технология за разпръскване на катод. Той комбинира характеристиките на процесите на изпаряване и разпръскване и има добри дифракционни свойства. Той може да покрие детайлите със сложни форми. Въпреки това, цената на машините за йонни покрития е по -скъпа от традиционните вакуумни машини.