Оборудването за разпръскване на магнетрон се състои главно от следните части:
1. Целев материал: Основният компонент на оборудването за разпръскване на магнетрон, обикновено изработен от метал, сплав и други материали.
2. Вакуумна камера: Работната среда на оборудването за разпръскване на магнетрон трябва да се извърши при високи вакуумни условия, а вакуумната камера играе ролята на поддържане на вакуум.
3. Магнетроновата система: Магнитното поле се използва за контрол на йонното бомбардиране върху повърхността на целевия материал, за да се причини разпръскване.
4. Рамка на субстрата: Използва се за поддържане на материала на субстрата, който трябва да бъде обработен.
5. Отоплителна система: В някои случаи целевият материал и субстрата трябва да се нагряват, за да се контролира процеса на разпръскване.
