Оборудването за разпръскване на магнетрона главно бомбардира целевата повърхност с йони, разпръскващи атоми или молекули върху целевата повърхност върху субстрата, за да образува тънък филм. Основните функции на оборудването за разпръскване на магнетрон са както следва:
1. Подготовка на различни материали с тънък филм: Магнетроновото оборудване за разпръскване може да се използва за приготвяне на различни материали с тънък филм като метали, сплави, полупроводници и др., И се използва широко в електроника, оптоелектроника, дисплей и други полета.
2. Подобряване на свойствата на материала: Оборудването за разпръскване на магнетрон може да промени микроструктурата и състава на филма, като контролира условията на разпръскване, като по този начин подобри механичните свойства и оптичните свойства на материала.
3. Повърхностна модификация: Оборудването за разпръскване на магнетрон може да подготви различни тънки филми на повърхността на субстрата за постигане на повърхностна модификация, защита на корозия, покритие и други функции.
Накратко, оборудването за разпръскване на Magnetron е важно оборудване за обработка на материали и обработка на повърхността с широк спектър от приложения и важно икономическо и социално значение.
