Въведение в принципа на нанасяне на покритие на вакуумни тръби в машини за вакуумно нанасяне на покритие

Dec 31, 2025

Остави съобщение

PVD coating machine

 

Принципът на нанасяне на покритие на вакуумни тръби в машини за вакуумно покритие е, че електроните, ускорени към субстрата под въздействието на електрическо поле, се сблъскват с аргоновите атоми, йонизирайки се в голям брой аргонови йони и електрони. След това електроните летят към субстрата. Аргоновите йони, ускорени от електрическото поле, бомбардират целевия материал, разпръсквайки голям брой целеви атоми, които като неутрални целеви атоми (или молекули) се отлагат върху субстрата, за да образуват филм. Вторичните електрони, по време на тяхното ускорение към субстрата, се влияят от силата на Лоренц на магнитното поле и се ограничават до плазмена област близо до целевата повърхност. Тази област има висока плътност на плазмата и вторичните електрони под въздействието на магнитното поле се движат в кръгово движение около целевата повърхност.

 

Този дълъг път на движение включва непрекъснати сблъсъци с аргонови атоми, йонизиращи се в голям брой аргонови йони, които бомбардират целевия материал. След множество сблъсъци, електроните постепенно губят енергия, освобождават се от линиите на магнитното поле, отдалечават се от целевия материал и накрая се отлагат върху субстрата. Сега, с добавянето на средно{2}}честотна магнетронна мишена за разпръскване, изпаряващите се молекули на филма се ускоряват и бомбардират от целевия материал под действието на електрическо поле, разпръсквайки голям брой целеви атоми.

 

Неутралните целеви атоми (или молекули) се отлагат върху субстрата, за да образуват филм, който решава проблема с видовете филми, които не са могли да бъдат обработени чрез естествено изпарение в миналото, като титаниево покритие, циркониево покритие и др.

 

Понастоящем във вакуумни тръби обикновено се използва алуминиево-азотно композитно фолио. Целият филм се състои от три слоя: вътрешен, среден и външен, всеки със собствена функция. Вътрешният слой е отразяващ слой, чиято основна функция е да предотвратява излъчването на топлината от горещата вода в тръбата навън.

 

Средният слой е абсорбиращ слой, чиято основна функция е да абсорбира светлинната енергия и да я преобразува в топлинна енергия.

Външният слой е анти{0}}отражателен слой, чиято основна функция е да намали отразяването на слънчевата светлина и да увеличи степента на абсорбция на слънчевата светлина.

 

 

Изпрати запитване
Свържете се с насАко имате някакъв въпрос

Можете или да се свържете с нас чрез телефон, имейл или онлайн формуляр по -долу. Нашият специалист ще се свърже с вас скоро.

Свържете се сега!