Много клиенти са объркани при покупкамашини за вакуумно покритие. Те знаят от какъв тип и модел машина за нанасяне на покритие се нуждаят, но не могат да определят на какви стандарти трябва да отговаря машината, за да се счита за добро качество и високо-качество. Това объркване ги кара да предприемат много заобиколни пътища. По-долу Puyuan Vacuum ще предостави подробно въведение в основните технически изисквания, на които трябва да отговаря една машина за вакуумно покритие.
Вакуумно изпаряване, катодна йонизация, магнетронно разпрашване:
1.Структурата на вакуумните тръбопроводи и статично запечатващите компоненти в оборудването трябва да отговарят на GB/T6070.
2.Уреди за измерване на вакуум трябва да бъдат инсталирани на тръбопроводите за нисък-вакуум и висок-вакуум и на камерата за вакуумно покритие, за да се измерва нивото на вакуум на всяко място. Ако се открие смущение от електрическото поле, на измервателния порт трябва да се монтира екраниращо устройство за електрическо поле.
3.Ако основната помпа, използвана в оборудването за PVD покритие, е дифузионна помпа, трябва да се монтира уловител на маслени пари от страната на входа на помпата.
4. Камерата за покритие на оборудването за вакуумно покритие трябва да бъде оборудвана с прозорец за наблюдение и преграда. Прозорецът за наблюдение трябва да позволява наблюдение на работния статус на източника на отлагане и други критични компоненти.
5. Дизайнът на източника за отлагане на йонно покритие трябва да максимизира скоростта на йонизация по време на процеса на нанасяне на покритие, да подобри степента на използване на покриващия материал, да съответства рационално на мощността на източника на отлагане и да подреди рационално позицията на източника на отлагане във вакуумната камера.
6.Отоплителното устройство трябва да бъде рационално подредено; като цяло структурата на нагревателя трябва да осигурява равномерно повишаване на температурата на детайла, който се покрива.
7. Държачът на детайла трябва да бъде изолиран от вакуумната камера и дизайнът на държача на детайла трябва да гарантира, че слоят филм на детайла е еднакъв.
8. Машините за йонно вакуумно покритие обикновено трябва да имат отрицателно преднапрежение на детайла и захранване за йонно бомбардиране. Захранването с йонна бомбардировка трябва да има устройство за потискане на необичайния разряд и поддържане на стабилна работа.
9.Стойностите на изолационното съпротивление между различните части на вакуумната камера, свързани с различни потенциали, трябва да съответстват на 4.4.6 от GB/T11164-1999.
10. Други предпазни мерки
(1) Температура на околната среда: 10-30 градуса
(2) Относителна влажност: не повече от 75%
(3) Температура на входа на охлаждащата вода: не по-висока от 25 градуса
(4) Качество на охлаждащата вода: общинска чешмяна вода или вода с еквивалентно качество.
(5) Захранване: 380V три-фаза 50Hz или 220V моно-фаза 50Hz (в зависимост от използваните електрически уреди); диапазон на колебание на напрежението: 342-399V или 198-231V; честотен диапазон на колебание: 49-51Hz.
(6) Налягането, температурата и консумацията на сгъстен въздух, течен азот, студена вода, гореща вода и т.н., изисквани от оборудването, трябва да бъдат посочени в ръководството за употреба на продукта.
(7) Заобикалящата оборудването среда трябва да е чиста и въздухът трябва да е без прах или газове, които биха могли да причинят корозия на електрически компоненти или други метални части, или проводимост между металите.
