Въведение във вакуумното покритие

Субстратът, който трябва да бъде покрит, се нарича субстрат, а материалът, който трябва да бъде покрит, се нарича целта. Субстратът и целта са в една и съща вакуумна камера.
Покритието на изпаряването обикновено загрява целта, така че повърхностните компоненти да се изпаряват под формата на атомни групи или йони. И той се установява на повърхността на субстрата и образува тънък филм през процеса на образуване на филм (разпръснати точки-островни структури-вагални структурни растения). За разпръскване на покритие може просто да се разбира като бомбардиране на целта с електрони или високоенергийни лазери и да се разпръсне повърхностните компоненти под формата на атомни групи или йони и накрая да се депозира върху повърхността на субстрата, да се подложи на филмовия процес и накрая да се образува тънък филм.