Ефективността на запечатване е решаващ аспект при проектирането на оборудване за вакуумно покритие, тъй като неговото качество пряко влияе върху това дали нивото на вакуум, необходимо за покритие, може да бъде постигнато по време на последващия процес на вакуумиране. Ако това изискване не е изпълнено, това ще повлияе пряко на образуването и качеството на филма. За да се осигури добро уплътняване на оборудването или системите за вакуумно покритие, далеч не е достатъчно просто да се локализират и блокират течове след монтажа. Необходимо е да се извърши откриване на течове във вакуум на всички етапи от проектирането, производството, пускането в експлоатация и използването на оборудването или системата за вакуумно покритие.
Съображения за проектиране наМашина за вакуумно покритие
1. Определете общата максимално допустима скорост на изтичане на вакуумното оборудване въз основа на изискванията на процеса и след това определете максимално допустимата скорост на изтичане на всеки компонент въз основа на тази обща скорост на изтичане.
2. Въз основа на максимално допустимия процент на течове и други показатели на оборудването, предварително определете методите за откриване на течове, които да се използват по време на фазата на проектиране, и използвайте това като един от основните принципи, ръководещи пускането в експлоатация и приемането.
3. Въз основа на максимално допустимите показатели за скорост на изтичане на оборудването или компонентите, определете методите на уплътняване и свързване и цялостната точност на обработка на оборудването, както и кой динамичен тип уплътнение може да отговори на изискванията. Например дали да използвате метални уплътнения или гумени уплътнения за фланци.
4. Когато проектирате структурната якост на резервоара, вземете предвид устойчивостта на налягане и структурната якост, изисквани за изпитвания компонент, ако се използва метод за откриване на теч под налягане.
5. Когато избирате структурни материали за компоненти, преценете дали се използват материали, които могат да бъдат корозирали и повредени от работната среда и-газа за изпитване на течове.
6. По време на проектирането на конструкцията трябва да се осигурят необходимите резервни интерфейси за инструменти за откриване на течове на контейнера или системата за използване по време на сглобяване на оборудването и пускане в експлоатация. Особено за големи и сложни тръбопроводни системи често се изискват сегментирани методи за откриване на теч; следователно на тръбопровода трябва да се монтират сегментирани изолационни вентили, а интерфейсите на инструментите за откриване на течове трябва да бъдат запазени за всеки изолационен сегмент.
7. Когато проектирате структурните компоненти, избягвайте проектни схеми, които могат да попречат на откриването на течове. Например глухите отвори не трябва да се използват за отвори за винтове във вакуумната камера, тъй като след като винтът е монтиран, газът в оставащото пространство вътре в отвора за винт може да излезе само през междината на резбата, образувайки фалшиво изтичане. Това удължава времето за евакуация на системата и пречи на нормалното откриване на теч. Вижте диаграмата за структури, които не трябва да се появяват при вакуумно откриване на теч.
8. По същия начин, непрекъснати дву-странни заварки и много-пластови структури на уплътнителни пръстени не са разрешени в структурния проект, тъй като те ще създадат „паразитен обем“ в средата, което ще доведе до изтичане на газ вътре. Освен това, когато вътрешните и външните заварки или уплътнителните пръстени изтичат едновременно, „паразитният обем“ прави времето за реакция на изтичащия газ да премине през дву-слойната заварка твърде дълго, което прави нормалното откриване на теч невъзможно.
9. При проектирането на заварени конструкции минимизирайте броя на заварките, които не могат да бъдат открити за течове след окончателното сглобяване.
Горните точки са предпазни мерки за откриване на течове в оборудване за вакуумно покритие. Качеството на изпълнението на запечатването пряко определя дали оборудването може да бъде успешно прието и дали качеството му отговаря на стандартите.
