Принцип на работа на машината за много арка

Машината за много арка генерира високотемпературна плазма чрез множество източници на дъга (4-16), изпарява металния материал и го отлага върху повърхността на субстрата, за да постигне ефективно покритие (равномерност на дебелината на филма ± 5%). Основната му вакуумна камера е разделена на покривна камера (вакуумна степен, по-малка или равна на 10^-3pa) и камера за предварително третиране. Първият осигурява среда с ниска въздействие, а втората се използва за почистване и полиране на субстрата за подобряване на адхезията. Ключовите параметри на процеса включват мощност на източника на ARC (20-200A), температура на субстрата (100-300 градуса) и скорост на отлагане (1-10nm/s), които трябва да бъдат динамично регулирани според формата на субстрата (като сложни извити повърхности) и материал (метал/керамика). Подходящ е за сцени като оптична леща анти-отразяващ филм и твърдо покритие на инструмента.