1. Почистване на вакуумно отопление
Работата се нагрява при нормално налягане или вакуум, за да се изпари летливите примеси на повърхността му, за да се постигне целта на почистването. Ефектът на почистване на този метод е свързан с атмосферното налягане на детайла, дължината на времето за задържане на вакуум, температурата на нагряване, вида на замърсителите и материала на детайла. Принципът е да се нагрява детайла за насърчаване на повишаването на десорбцията на водните молекули и различни въглеводородни молекули, адсорбирани на повърхността му. Степента на повишаване на десорбцията зависи от температурата. В ултра-висок вакуум, за да се получи атомно чиста повърхност, температурата на нагряване трябва да бъде по-висока от 450 градуса, а методът за почистване на отопление е особено ефективен. Но понякога този метод има странични ефекти. В резултат на отоплението, някои въглеводороди могат да полимеризират в по -големи агрегати и да се разграждат едновременно в въглеродни шлаки.
2. Ултравиолетово облъчване почистване
Използвайте ултравиолетово лъчение, за да разградите въглеводородите на повърхността. Например, излагането на въздух в продължение на 15 часа може да доведе до чиста стъклена повърхност. Ако правилно предварително почистената повърхност е поставена в ултравиолетов източник, който произвежда озон, са необходими няколко минути, за да се образува чиста повърхност (почистване на процеса), което показва, че наличието на озон подобрява скоростта на почистване. Механизмът за почистване е, че при ултравиолетово облъчване, мръсотията молекули се възбуждат и дисоциират, а генерирането и присъствието на озон произвеждат силно активен атомен кислород. Вълнуваните замърсители молекули и свободните радикали, генерирани от дисоциацията на замърсителите, реагират с атомен кислород, за да генерират сравнително прости и летливи молекули, като H203, CO2, N2 и др. Скоростта на реакция се увеличава с повишаването на температурата.
3. Почистване на изпускане
Този метод на почистване се използва широко при почистването и дегазаването на високо вакуумни и ултра-високи вакуумни системи, особено във вакуумно покритие. Използване на горещи проводници или електроди като източници на електрон и прилагане на отрицателни пристрастия към относителната повърхност, която трябва да се почисти, може да се постигне десорбция на газ и отстраняване на някои въглеводороди чрез йонна бомбардировка. Ефектът на почистване зависи от материала на електрода, геометрията и връзката му с повърхността, тоест броят на йони на единица повърхност и йонна енергия и по този начин зависи от ефективната електрическа енергия. Когато вакуумната камера се напълни с инертен газ (обикновено AR газ) при подходящо частично налягане, йонната бомбардировка, генерирана от сияние с ниско налягане, може да се използва за почистване на вакуумната камера. При този метод инерционният газ се йонизира и бомбардира вътрешната стена на вакуумната камера, други структурни компоненти във вакуумната камера и субстрата. Някои въглеводороди могат да бъдат почистени по -добре, ако кислородът се добави към запълнения газ. Тъй като кислородът може да окисли някои въглеводороди, за да образува летливи газове, той може лесно да бъде изключен от вакуумната система. Основните компоненти на примесите на повърхността на високо вакуумни и ултра-високи вакуумни контейнери са въглеродни и въглеводороди. При нормални обстоятелства въглеродът не може да се изпари сам. След химическо почистване, AR или AR + 02 трябва да се въведе смесен газ за почистване на разряд. При почистване на светещи изпускане по -важните параметри са типът на приложеното напрежение (AC или DC), който се използва за почистване на повърхността на багрилото и газовия газ, който се свързва химически към повърхността, напрежението на изпускането, плътността на тока, типа на газ и налягането, времето на бомбардиране, формата на електрода, материала и положението на частите, които трябва да се почистват и т.н.
IV. Промиване на газ
1. Промиване на амоняк
Когато азотът се адсорбира върху повърхността на материала, енергията на адсорбцията е много малка, така че времето на адсорбция на повърхността е много кратко и дори ако се адсорбира на стената на устройството, лесно се изпомпва. Използването на тази характеристика на амоняка за промиване на вакуумната система може да съкрати времето на изпомпване на системата. Ако машината за вакуумно покритие е пълна със сух азот, преди да бъде поставена в атмосферата, времето за изпомпване на следващия цикъл на изпомпване може да бъде съкратено с почти половината, тъй като енергията на адсорбция на азота е много по -малка от укрепващия каменна стена. Тъй като адсорбционните места са сигурни и първо се пълнят с азотни молекули, има малко адсорбирани водни молекули, които съкращават времето на изпомпване. Ако системата е замърсена от разпръскване на масло от дифузионната помпа, замърсената система може да бъде почистена и чрез промиване на азот. Обикновено, когато се пекат и нагряват системата, системата може да бъде промита с азот, за да се елиминира замърсяването на маслото.
2. Реактивно промиване на газ
Този метод е особено подходящ за вътрешно почистване на големи вакуумни системи от неръждаема стомана (отстраняване на замърсяване с въглеводороди) и обикновено е подходящ за вакуумни камери и вакуумни компоненти на някои големи ултра високи вакуумни системи. За да се получи чиста повърхност в атомно състояние, стандартният метод за елиминиране на повърхностното замърсяване е химическото почистване, вакуумното печене на пещта, почистването на светенето на разряда и вакуумната система с атомна енергия. Горните методи за почистване и дегазиране често се използват преди и по време на инсталирането на вакуумната система. След инсталирането на вакуумната система (или след експлоатация на системата), е трудно да я дегустирате, тъй като различните компоненти вече са фиксирани. След като системата (случайно) е замърсена (главно от молекули с по -големи атомни числа като въглеводороди), тя обикновено се разглобява, преработва и преименува, докато дегазирането на онлайн може да се извърши с помощта на реактивна програма за газ, ефективно отстраняване на въглеводородни замърсители в вакуумната камера на неплатната стомана. Неговият механизъм за почистване: Въвеждане на окислителен газ (02, без RRB и редуциращ газ (NH3 NH3) в системата за химически реагиране и почистване на металната повърхност, за да се елиминират замърсителите и да се получи атомно състояние на чистата метална повърхност. Скоростта на повърхностно окисляване/редукция зависи от условията на замърсяване и материала на металната повърхност. Скоростта на повърхността на повърхността на повърхността на повърхността/редукцията зависи от условията на замърсяване, а материалът на металната повърхност. За различни субстрати точните параметри за различни ориентации на кристалите се определят експериментално и тези параметри са различни.
