Работа на шкафа за електрическо управление
1. Включете водната помпа и източника на газ.
2. Включете основното захранване.
3. Включете захранването на помпата за поддръжка и вакуумно съдържание и позиция V1 на вакуумния габарит. Изчакайте стойността му да бъде по -малка от 10, преди да влезете в следващата стъпка. Отнема около 5 минути.
4. Включете механичната помпа, предварително помпа, включете захранването на турбомолекулярната помпа и стартирайте. Превключете превключвателя на вакуумния габарит в положение V2 и помпайте, докато стане по -малко от 2. Отнема около 20 минути.
5. След като наблюдавате, че отчитането на турбомолекулната помпа достига 250, изключете предварителната помпа, включете предната помпа и високия вакуум вентил, за да продължите вакуумирането. След като вакуумът достигне определено ниво, високият вакуум вдясно може да бъде включен, за да се наблюдава вакуумната степен. Захранването на електронен пистолет може да бъде включено само след като вакуумът достигне 2 × 10-3.
Def-6b
1. Основно захранване.
2. Включете мощността на контрола на електронния пистолет ⅰ и контрола на електронния пистолет ⅱ В същото време: Натиснете превключвателя за захранване и забавяне на контрола на електронния пистолет ⅰ, забавянето, захранването и защитните светлини ще светят, а светлините за забавяне и защита ще изгаснат след три минути. Ако задната врата не е затворена или релето на водния поток е дефектна, светлината на защитата винаги ще бъде включена.
3. Включете високото напрежение, високото напрежение ще достигне повече от 10kV, регулира тока на лъча до около 200mA, решетката за завеси е 20V/100mA, токът на нишката е 1.2a, а отклонението на тока между 1 и 1,7.
Последователност на изключване
1. Изключете високия вакуум и молекулната помпа.
2. Когато молекулната помпа показва 50, изключете високия клапан, предния етап и механичната помпа от своя страна. Този период отнема около 40 минути.
3. Когато е под 50, изключете помпата за поддръжка.
