Бялата мъгла от вътрешната страна на детайла в машина за вакуумно покритие е по-сложна за причиняване, отколкото от външната страна. Възможните причини включват:
1. Проблеми със структурата на филма: Разхлабена колонна структура на външния филм или прекалено грапав външен филм;
2. Прекомерен ъгъл на изпарение, което води до груба структура на филма;
3. Температурна разлика: Прекомерна температурна разлика между вътрешната и външната част на лещата, когато тя се отстранява от покритието;
4. Влага: Влага в средата, където е поставена лещата след отстраняване от покритието;
5. Прекомерна влага по време на размразяването на POLYCOLD във вакуумната камера;
6. Непълно насищане с кислород по време на отлагане на пари, което води до неравномерна структура на филма;
7. Стрес между филмите.
Стратегии за подобряване: Тъй като има много причини за бяла мъгла от външната страна на филма, всяка със свои собствени характеристики, препоръчват се целенасочени решения. Основните стратегии са: първо, да се направи филмът по-плътен и гладък, за да се предотврати адсорбцията; и второ, да се подобри околната среда, за да се намалят обектите, които могат да бъдат адсорбирани.
Стратегии за подобряване:
1. Подобрете филмовата система чрез добавяне на силициев диоксид към външния слой, за да направите повърхността на филма гладка и по-малко склонна към адсорбция. Подобрете околната среда по време на отстраняване на лещата (суха и чиста).
2. Намалете температурата на лещата по време на отстраняване (удължете времето за охлаждане във вакуумната камера), за да намалите температурната разлика и напрежението.
3. Подобрете оксигенацията (увеличете количеството) и подобрете структурата на филма.
4. Намалете по подходящ начин скоростта на изпарение, за да подобрите колонната структура.
5. Използвайте йон{1}}покритие, за да подобрите структурата на филма.
6. Добавете малък газов клапан по време на полистудено размразяване (неговата функция е да отстранява влагата незабавно).
7. Подобрете ъгъла на изпарение чрез модифициране на източника на изпарение и приспособлението.
8. Подобрете грапавостта на повърхността на основата.
9. Обърнете внимание на нивото на вакуум по време на полистудено размразяване.
Образува се бяла мъгла в покриващия слой върху детайли с-вакуумно покритие и не може да се отстрани чрез избърсване.
Възможни причини:
1. Замърсена основа, остатъци от предишни процеси.
2. Корозионно замърсяване по повърхността на лещата.
3. Несъвместимост между материалите за покритие и между материала за покритие и субстрата.
4. Недостатъчно насищане с кислород на оксиди.
5. Първият слой покритие от циркониев оксид може да причини бяла мъгла върху някои субстрати.
6. Замърсяване с влага на субстрата преди (след почистване) преди капсулиране.
7. Лошо почистване или избърсване, оставяне на следи от почистване или избърсване.
8. Замърсена вакуумна камера, прекомерна влага.
9. Висока околна влажност.
Стратегия за подобряване: Самата основа вероятно е основният проблем, докато покритието цели да го компенсира. Най-същественият проблем със самото покритие вероятно е съвместимостта на материалите за покритие.
Мерки за подобряване:
1. Подобрете системата за покритие; избягвайте използването на циркониев оксид като първи слой.
2. Минимизиране на времето за отваряне на вакуумната камера; осигурете цялостно почистване и подготовка на покритието между вакуумните камери в рамките на възможно най-кратко време.
3. След смяна на защитната плоча и почистване на вакуумната камера, най-добре е да извършите процес на вакуумно печене с празна камера. Сменените защитни пластини и други компоненти на вакуумната камера трябва да бъдат сухи и чисти.
4. Подобрете околната среда.
5. Защитете правилно лещите на плочите с форма на чадър-, преди да влязат във вакуумната камера от замърсяване.
6. Подобрете ефектите на почистване и избърсване.
7. Подобрете съвместимостта на покритието (обмислете използването на Al2O3 за първия слой).
8. Подобрете степента на насищане с кислород и изпарение на покритието (намалете ги).
9. Ускорете работния процес на пред-обработка. Укрепете защитата на вече обработени полирани повърхности в етапа на пред-обработка.
10. Полираните повърхности трябва да се почистват веднага след полирането; не трябва да полепва и изсъхва полиращ прах или други примеси.
