Машина за вакуумно покритиеглавно се отнася до тип покритие, което трябва да се извърши при относително висока степен на вакуум, включително много видове, включително вакуумно йонно изпаряване, магнетронно разпрашване, MBE епитаксия с молекулярни лъчи, PLD лазерно разпрашване и др. Основната идея е да се раздели на два типа: изпаряване и разпрашване.
Процесът на градиентно оцветяване обикновено използва оборудване за магнетронно разпрашване на покритие. В момента градиентните цветни корпуси на много модели мобилни телефони като Huawei и Lenovo използват процеса на нанасяне на вакуумно градиентно покритие PVD.
Магнетронното разпрашване е вид физическо отлагане на пари (Physical Vapor Deposition, PVD). Общият метод на разпрашване може да се използва за приготвяне на метали, полупроводници, изолатори и други материали и има предимствата на просто оборудване, лесен контрол, голяма площ на покритие и силна адхезия.
Методът на магнетронно разпрашване, разработен през 70-те години на миналия век, постигна висока скорост, ниска температура и ниска повреда. Тъй като високо{2}}разпръскването се извършва при ниско налягане, скоростта на йонизация на газа трябва да бъде ефективно увеличена. Магнетронното разпрашване въвежда магнитно поле към повърхността на целевия катод и използва магнитното поле, за да ограничи заредените частици, за да увеличи плътността на плазмата и да увеличи скоростта на разпрашаване.
Машината за вакуумно покритие с магнетронно разпрашване е най-често използваното оборудване за покриване на съществуващи продукти при условия на вакуум. Пълна машина за вакуумно покритие с магнетронно разпрашване се състои от множество части на системата. Всяка система може да изпълнява различни функции за постигане на крайното висококачествено покритие. Компонентите на магнетронното разпрашващо покритие включват вакуумна камера, механична помпа, система за вакуумно изпитване, маслена дифузионна помпа, вакуумна система, кондензационна помпа, система за контрол на образуването на филм и др.
Основното тяло на машината за вакуумно покритие с магнетронно разпрашване е вакуумната камера. Размерът на вакуумната камера се определя от обработваните продукти. Размерът на покритието за магнетронно разпръскване може да бъде персонализиран. Камерата обикновено е изработена от неръждаема стомана и се изисква да бъде здрава, издръжлива и неръждясваща-. Вакуумната камера за магнетронно разпрашващо покритие има много свързващи клапани за свързване на различни спомагателни помпи.
Системата за контрол на образуването на филм с магнетронно разпрашващо покритие може да използва различни методи, като фиксирано време за покритие, визуална проверка, екстремен мониторинг и мониторинг на кристални вибрации. Машините за вакуумно покритие и методите за нанасяне на покритие с машини за вакуумно покритие също се разделят на различни процеси. Често използваните включват покритие чрез йонно изпаряване и покритие чрез магнетронно разпрашване. Филмовият слой, покрит чрез магнетронно разпрашване, има силна адхезия и висока чистота и може да разпръсква различни материали с различни състави едновременно.
