Машина за нанасяне на покритие с магнетронно разпрашване

Във вакуумна камера се използва магнитно поле за ограничаване на тлеещ разряд, карайки аргоновите йони да бомбардират целевия материал с високи скорости, целевите атоми се разпръскват и отлагат върху повърхността на детайла, за да образуват плътен тънък филм-процес, класифициран като физическо отлагане на пари (PVD).

Характеристики на оборудването

Съвместим с различни видове мишени за разпръскване
Поддържа DC, MF и RF магнетронни мишени за разпрашаване, побира както метални, така и оксидно-керамични мишени, позволявайки отлагането както на метални, така и на изолационни диелектрични филми.

Революция на субстрата и механизъм за въртене
Стелажът за детайли използва планетарна ротационна система, позволяваща на детайлите вътре в пещта да се въртят и въртят едновременно, което гарантира отлична равномерност на дебелината на филма в целия товар на пещта и минимизира цветните вариации.

Ниско{0}}система за предварителна-обработка на йони
Снабдена с вграден -източник за почистване на йони, системата бомбардира повърхността на детайла с плазма преди нанасяне на покритие, за да премахне маслените замърсители и оксидните слоеве. Позволява ниско{2}}отлагане на филм с минимално нагряване на субстрата, което го прави подходящо за обработка на чувствителни на топлина-пластмаси като ABS и PC, без да причинява изгаряне или деформация.

Независима конфигурация на вакуумната единица
Комбинация от турбомолекулярна помпа, помпа на Roots и ротационна лопаткова помпа, осигуряваща стабилна крива на изпомпване.

Напълно автоматична PLC индустриална система за управление
Автоматизация на процеса, рецепти за процес могат да се съхраняват и извикват с едно щракване.

Прецизен контрол на газовия поток
Използва множество контролери за масов поток (MFC) за прецизно регулиране на реактивни газове като аргон, кислород и азот, което го прави подходящ за реактивно разпрашване на оксидни и нитридни композитни филми.

Безопасна блокировка
Включва блокировки за вратата на камерата и вакуумната система, както и защити срещу претоварване, недостиг на вода и прекъсване на захранването, автоматично изключване при откриване на аномалии за защита на целевия източник и вакуумна система.

Декоративно покритие
Калъфи за часовници, хардуер за баня, глави за стикове за голф, занаяти, играчки, рефлектори за автомобилни фарове и корпуси и бутони за мобилни телефони или домакински уреди. Възможност за производство на имитация на злато, бронзово черно, ултра-черно и цветни декоративни покрития, служи като екологична-приятелска,-замърсяваща-алтернатива на традиционното-водно галванопластика.

Съвместими субстрати: ABS пластмаса, стъкло, керамика, плочки и различни метали.

 

Функционални филми
Форма и инструменти: Устойчиви{0}}на износване защитни покрития за режещи инструменти и форми/щанци

Дебелината на филма може да се контролира и повтаря.

Той може надеждно да отложи филм с предварително определена дебелина, а разпръскващото покритие може да получи равномерна дебелина на филма върху голяма повърхност.

Филмът има силна адхезия към основата.

Някои-разпръснати атоми с висока енергия произвеждат различни степени на инжектиране, образувайки псевдо-дифузионен слой върху субстрата, където разпръснатите атоми и атомите на субстрата се сливат един с друг.

Приготвяне на тънки слоеве от специални материали.

Смесени филми и комбинирани филми могат да бъдат приготвени чрез разпръскване на различни материали едновременно. TiN имитация на златни филми също може да бъде напръскана.

Филмът има висока чистота и разпръснатият филм няма да се смесва с компонентите на материала на нагревателя на тигела.

Оборудван с нискотемпературен спомагателен източник на йони, той може да образува филми чрез студено покритие при стайна температура без нагряване, спестявайки енергия и електричество и подобрявайки производствения капацитет.